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簡(jiǎn)要(yào)描述：Filmtek 4500反射和(hé)透射膜(mó)厚(hòu)測量儀利用(yòng)新的(dí)多角(jiǎo)度差分極化(huà)測(cè)量(liáng)（MADP）技(jì)術與SCI patented的差分功(gōng)率譜(pǔ)密(mì)度（DPDS）技術相結(jié)合，提供(gōng)了一(yī)種在(zài)工業中具(jù)有佳(jiā)的(dí)分(fēn)辨率，準確(què)度(dù)和(hé)可重復性(xìng)的光學薄膜(mó)計(jì)量工(gōng)具。通(tōng)過(guò)提(tí)供(gōng)更高的(dí)精(jīng)度和準確度，FilmTek 4500使(shǐ)後(hòu)期集(jí)成電路生產(chǎn)過(guò)程中(zhōng)的薄(báo)膜(mó)過(guò)程(chéng)控製(zhì)更(gēng)加嚴格(gé)，從而提高(gāo)了整(zhěng)個器件的(dí)產(chǎn)量。
產(chǎn)品(pǐn)型(xíng)號：廠(chǎng)商(shāng)性(xìng)質：代理(lǐ)商更新(xīn)時(shí)間(jiān)：2019-02-03訪(fǎng) 問(wèn) 量(liáng)：1407產品(pǐn)分類(lèi)
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| 品牌(pái) | 其(qí)他品牌 | 價格(gé)區間 | 麵議 |
|---|
Measurement Features | FilmTek™ 4000 / 4500 |
Index of Refraction折(zhē)射率 | ±0.00002 |
Thickness Measurement Range 膜(mó)厚範圍(wéi) | 3nm-350µm |
Maximum Spectral Range (nm) 大(dà)光譜(pǔ)範圍(wéi) | 190-1700nm |
Standard Spectral Range (nm) 標(biāo)準(zhǔn)光(guāng)譜範圍(wéi) | 380-1000nm |
Reflection 反射(shè) | Yes |
Transmission 透(tòu)射 | Yes(4500) |
Spectroscopic Ellipsometry 橢圓(yuán)光(guāng)譜(pǔ)技術 | No |
Power Spectra Density 功(gōng)率譜密度 | Yes |
Multi-angle Measurements 多(duō)角度(dù)測量(DPSD) | Yes |
TE & TM Components of Index TE和TM成分(fēn)指數 | Yes |
Multi-layer thickness 多層(céng)厚度(dù) | Yes |
Index of Refraction 折射率 | Yes |
Extinction (absorption) Coefficient 消光(吸收)係(xì)數 | Yes |
Energy band gap 能(néng)帶隙(xì) | Yes |
Composition 組(zǔ)成 | Yes |
Crystallinity 結晶度(dù) | Yes |
Inhomogeneous Layers 非均匀(yún)層 | Yes |
Surface Roughness 表(biǎo)麵(miàn)粗(cū)糙度 | Yes |
產品咨(zī)詢(xún)
聯(lián)係(xì)人：蔣(jiǎng)新浩
地(dì)址(zhǐ)：杭州市(shì)蕭山區(qū)通惠(huì)中(zhōng)路(lù)1號綠都泰富廣場1幢2512室
郵(yóu)箱(xiāng)：info@Labmates.cn
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