奧林(lín)巴(bā)斯OLYMPUS 3D測量激(jī)光顯微(wēi)鏡(jìng)OLS5000

Olympus 3D測量激(jī)光(guāng)顯微鏡OLS5000作為(wéi)3D測量顯微鏡(jìng)有(yǒu)著更真(zhēn)實的(dí)三維(wéi)形貌反映能(néng)力，具(jù)有(yǒu)操(cāo)作(zuò)更(gēng)便捷(jié)，更(gēng)快速(sù)的優(yōu)勢。OLS5000采用計(jì)算機直(zhí)觀控製，搭載(zǎi)的掃描算(suàn)法，可(kě)通過計算(suàn)機的(dí)處(chǔ)理轉(zhuǎn)換，快(kuài)速獲(huò)得(dé)完整帶有(yǒu)高(gāo)度信息的樣(yàng)品表麵圖像，並(bìng)通過對(duì)樣品不同層麵的掃描(miáo)和(hé)計(jì)算(suàn)機處(chǔ)理。在使用(yòng)時，隻要(yào)在放置(zhì)樣品(pǐn)後按(àn)動按鈕，設(shè)備就(jiù)會自動進行工作(zuò)，無需進(jìn)行(háng)復(fù)雜(zá)的設(shè)置調整(zhěng)，即(jí)使(shǐ)是不(bù)熟練(liàn)的用(yòng)戶也可獲準確的(dí)檢測(cè)結果(guǒ)，簡化(huà)工作(zuò)流(liú)程(chéng)。 　　

一直以(yǐ)來(lái)，奧林(lín)巴斯致力(lì)於滿足各(gè)領域用戶的(dí)多樣(yàng)需(xū)求，不(bù)斷(duàn)行(háng)業發展(zhǎn)趨(qū)勢，通過(guò)不斷研(yán)發(fā)新產品，順應市場(cháng)變化，在工(gōng)業顯微鏡領域始終(zhōng)保(bǎo)持著(zhuó)技(jì)術優勢。3D測(cè)量(liáng)激(jī)光(guāng)顯(xiǎn)微鏡在(zài)已經是(shì)一種被廣泛(fàn)采(cǎi)用(yòng)的(dí)技術。　　

隨著(zhuó)物聯網(wǎng)，雲科技(jì)，新能(néng)源(yuán)汽(qì)車(chē)的發展需求(qiú)，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業飛速(sù)發展(zhǎn)。針對這一趨勢，奧林(lín)巴斯(sī)陸(lù)續推(tuī)出(chū)BX係列，STM係(xì)列，MX係(xì)列產品，與這次(cì)發布會的激(jī)光(guāng)顯微鏡(jìng)構成了針(zhēn)對(duì)半導(dǎo)體前(qián)後道檢測(cè)市場(cháng)的(dí)較為(wéi)*的(dí)產(chǎn)品(pǐn)綫(xiàn)。Olympus 3D測(cè)量激光顯微鏡(jìng)OLS5000目(mù)標(biāo)市場(cháng)從(cóng)研發，質檢(jiǎn)為主(zhǔ)的研(yán)究級擴(kuò)展到(dào)涵(hán)蓋生產綫(xiàn)的製造級市(shì)場(cháng)。從(cóng)行業應用(yòng)方向來(lái)說(shuō)，半(bàn)導(dǎo)體/電(diàn)子(zǐ)，機械(xiè)重(zhòng)工設(shè)備，石(shí)油質(zhì)地(dì)都是(shì)該產品目標市(shì)場(cháng)。同時(shí)，新產品在汽車行業還會(huì)有更(gēng)多(duō)突破。

激(jī)光(guāng)共(gòng)聚焦掃(sǎo)描顯微鏡的發展(zhǎn)在(zài)國外是(shì)從(cóng)80年代末期開(kāi)始(shǐ)的，目(mù)前在日本，已(yǐ)經(jīng)是一種(zhǒng)被廣(guǎng)泛(fàn)采(cǎi)用(yòng)的技術(shù)，既(jì)用來(lái)觀察(chá)樣(yàng)品(pǐn)表(biǎo)麵(miàn)亞μm程度(dù)(0.2μm)的三維(wéi)形態(tài)和(hé)形(xíng)貌，又可以(yǐ)測(cè)量多種(zhǒng)微(wēi)小(xiǎo)的尺寸(cùn)，諸如體積，麵積，晶粒，膜(mó)厚，深(shēn)度(dù)，長(cháng)寬(kuān)，綫(xiàn)粗(cū)糙度，麵粗糙(cāo)度(dù)等(děng)。
 

LEXT OLS5000 3D測(cè)量激(jī)光顯(xiǎn)微鏡配備(bèi)的兩套光(guāng)學係統（彩(cǎi)色成像光學係統和(hé)激(jī)光(guāng)共(gòng)焦光學係(xì)統）讓其能(néng)夠獲(huò)取(qǔ)彩色信息，高度信息(xī)和高分(fēn)辨率(shuài)圖像。
 

[獲取(qǔ)彩(cǎi)色(sè)信息] 
彩(cǎi)色成像(xiàng)光學係(xì)統(tǒng)使(shǐ)用利(lì)用白(bái)光LED光源和CMOS相(xiāng)機(jī)獲取(qǔ)彩色信息(xī)。
 

[獲取(qǔ) 3D 高度信(xìn)息和(hé)高分(fēn)辨率(shuài)共焦圖像(xiàng)]
激光(guāng)共焦光(guāng)學係統采(cǎi)用405納米激光(guāng)二極管光源和(hé)高靈敏度(dù)光電(diàn)倍增(zēng)管獲(huò)得共(gòng)焦圖(tú)像。淺焦深(shēn)使其(qí)能(néng)夠(gòu)用(yòng)於測(cè)量樣(yàng)品的表麵不(bù)規則性(xìng)。

[405納米激光光(guāng)源]

光(guāng)學(xué)顯微(wēi)鏡的(dí)橫(héng)向分(fēn)辨率隨(suí)著(zhuó)波長(cháng)的減小而獲得(dé)提升。采(cǎi)用短波長激(jī)光的激(jī)光顯微(wēi)鏡相比(bǐ)采用可見光（峰(fēng)值550納(nà)米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優的(dí)橫(héng)向分辨率。 OLS5000顯(xiǎn)微鏡利用405納米(mǐ)短波(bō)長激(jī)光二極(jí)管獲得的(dí)橫向分辨率。

[激光(guāng)共焦光學(xué)係(xì)統]

激(jī)光共焦光學係統(tǒng)僅(jǐn)接收通(tōng)過圓形(xíng)針(zhēn)孔(kǒng)聚焦(jiāo)的(dí)光綫，並非(fēi)采(cǎi)集從(cóng)樣品(pǐn)上(shàng)反(fǎn)射(shè)和散射的(dí)所有光綫。這(zhè)樣有助於消除模糊，讓其能夠獲得(dé)比(bǐ)普(pǔ)通顯微(wēi)鏡對(duì)比度更高(gāo)的(dí)圖(tú)像(xiàng)。

[X-Y掃(sǎo)描儀]
OLS5000顯(xiǎn)微鏡(jìng)配有(yǒu)奧(ào)林(lín)巴斯(sī)光(guāng)學掃描儀。通(tōng)過將采用(yòng)電(diàn)磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀(yí)的(dí)X軸與(yǔ)采用(yòng)Galvano掃(sǎo)描振鏡的Y軸相(xiāng)結合，能(néng)夠讓X-Y掃(sǎo)描(miáo)儀(yí)定位(wèi)於相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因(yīn)而能夠實現具有(yǒu)較低(dī)掃描(miáo)軌(guǐ)跡(jì)失真(zhēn)和較小(xiǎo)光學像(xiàng)差(chà)的(dí)X-Y掃描。

[高(gāo)度測量(liáng)原理(lǐ)]

在測(cè)量高度(dù)時，顯(xiǎn)微鏡(jìng)通過自(zì)動移(yí)動(dòng)焦點(diǎn)位(wèi)置獲(huò)取多(duō)個共焦圖像(xiàng)。
根據非連續的(dí)焦點(diǎn)位(wèi)置（Z）和檢(jiǎn)測(cè)光強度(dù)（I）可(kě)以(yǐ)估(gū)算每個像(xiàng)素(sù)的光(guāng)強(qiáng)變(biàn)化曲(qū)綫（I-Z曲綫(xiàn)），並獲得(dé)其峰(fēng)值位(wèi)置和峰值強度(dù)。由於所(suǒ)有像素的峰(fēng)值位(wèi)置(zhì)與樣品表(biǎo)麵(miàn)的不規(guī)則性(xìng)相對(duì)應(yīng)，因此(cǐ)可(kě)以(yǐ)獲(huò)得樣(yàng)品(pǐn)表(biǎo)麵(miàn)的3D形狀(zhuàng)信(xìn)息。與(yǔ)此類似(sì)，通(tōng)過峰(fēng)值強度數據(jù)可(kě)以獲得(dé)針(zhēn)對樣(yàng)品表麵所有(yǒu)位置焦點的圖(tú)像(xiàng)（擴展圖像(xiàng)）。

型號規格(gé)