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EddyCus® map 2530RM電阻(zǔ)率測(cè)試儀在非接觸(chù)模(mó)式下(xià)自動測量大型樣品(pǐn)的(dí)薄層電阻，最大可(kě)達300×300平方毫米（12×12英(yīng)寸）。在手動樣(yàng)品定位時(shí)，該(gāi)設(shè)備會(huì)自動測(cè)量並(bìng)顯(xiǎn)示整(zhěng)個(gè)樣品(pǐn)區(qū)域的(dí)薄層電(diàn)阻的準確(què)映射。測量設(shè)置允許輕鬆(sōng)靈(líng)活(huó)地(dì)在低於(yú) 1 分鐘的(dí)快(kuài)速(sù)測(cè)量(liáng)時間或超過 10,000 個測(cè)量(liáng)點的(dí)高(gāo)空間測量(liáng)分辨(biàn)率之(zhī)間進行選(xuǎn)擇。
EddyCus map C2C全(quán)自動電(diàn)阻(zǔ)率成像係(xì)統用(yòng)於晶(jīng)圓襯底(dǐ)或外(wài)延(yán)片的(dí)全(quán)麵(miàn)積(jī)表征，以確保半(bàn)導體(tǐ)行(háng)業的(dí)工藝可靠性(xìng)和質量保證。該係統配備(bèi)了(liǎo)兩個在傳(chuán)輸(shū)模(mó)式(shì)下工作的(dí)非(fēi)接觸式渦流(liú)傳感器。這(zhè)允(yǔn)許(xǔ)非常詳(xiáng)細地顯示基底材(cái)料或導電(diàn)塗(tú)層(céng)的均(jūn)匀性(xìng)。該(gāi)係統(tǒng)能(néng)夠測量薄(báo)膜(mó)的薄(báo)層(céng)電阻(zǔ)或金(jīn)屬膜(mó)厚(hòu)度以(yǐ)及(jí)晶圓襯底(dǐ)的(dí)電阻率(shuài)。
EddyCus TF lab 2020電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)測(cè)量儀(yí)可以(yǐ)對導電薄(báo)膜(mó)進行(háng)手(shǒu)動單點(diǎn)測(cè)量(liáng)，並以非接觸模式對薄金(jīn)屬層進(jìn)行(háng)層(céng)厚測量。這(zhè)個緊湊(còu)的台式設備是快速(sù)和準(zhǔn)確測(cè)量(liáng)200 x 200 mm²（8 x 8英(yīng)寸）以下樣品的理(lǐ)想(xiǎng)選(xuǎn)擇。除(chú)了(liǎo)測量導(dǎo)電薄層外(wài)，還(huán)可(kě)以分析摻雜的晶(jīng)圓和導電聚(jù)合物。
四探針麵電阻(zǔ)測(cè)量(liáng)儀(yí)SD-800采用四探(tàn)針接觸式(shì)原(yuán)理，用於測量導電膜(mó)層的(dí)麵(miàn)電阻，探針(zhēn)直徑(jìng)大，針頭(tóu)光(guāng)滑(huá)，能(néng)伸(shēn)縮，不易(yì) 劃(huá)傷膜層。儀(yí)器有(yǒu)多(duō)個量程範圍(wéi)可(kě)自(zì)動(dòng)選(xuǎn)擇，以(yǐ)Ohm/sq或(huò)Siemens/sq顯示數據，校準數(shù)據和測(cè)量(liáng)結果 自動(dòng)存(cún)儲(chǔ)。
非(fēi)接觸式麵電(diàn)阻測試(shì)儀Statometer G采(cǎi)用(yòng)感(gǎn)應式測(cè)量(liáng)原理(lǐ)，無探針(zhēn)接(jiē)觸導電(diàn)膜層，既可(kě)測量(liáng)表麵導電(diàn)也可測量(liáng)表麵不導(dǎo)電(diàn)的導(dǎo)電(diàn)玻璃(lí)和(hé)導電膜層(céng)，是(shì)目前Low-E鍍(dù)膜生(shēng)產(chǎn)普(pǔ)遍選(xuǎn)用的(dí)優質(zhì)選(xuǎn)擇。
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