1.

設備(bèi)名(míng)稱(chēng)：

霍爾效應(yīng)測(cè)試(shì)儀

2.

功(gōng)能(néng)描(miáo)述：

測量半導體(tǐ)薄(báo)膜中(zhōng)載(zǎi)流子(zǐ)類型(xíng)，載(zǎi)流(liú)子(zǐ)濃度，遷(qiān)移率(shuài)，電(diàn)阻率(shuài)，霍爾係(xì)數等參數(shù)

3.

技術參(cān)數：

3-1

測試範圍(wéi)：

Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Type & P Type)等(děng)材質(zhì)的(dí)半導體(tǐ)薄(báo)膜中(zhōng)載流(liú)子(zǐ)類(lèi)型，載(zǎi)流子濃度，遷(qiān)移率，電阻(zǔ)率，霍爾係(xì)數(shù)等參數

3-2

磁(cí)場(cháng)：

3-2-1

磁場強度(dù)：

1T 電磁(cí)體

3-2-2

磁(cí)場(cháng)類型(xíng)：

電磁(cí)體

3-2-3

磁場均匀性(xìng)：

磁場(cháng)不均匀(yún)性＜±1 %

10年內磁(cí)場(cháng)變化(huà)＜±0.2%

3-3

溫(wēn)    度：

3-3-1

溫度區(qū)域：

77K(液氮溫度)或室(shì)溫

3-4

電(diàn)阻率範圍(wéi)：

1 µ Ohm*cm ~10 M Ohm*cm

3-5

電阻(zǔ)範(fàn)圍：

0.1 m Ohms ~10 G Ohms

3-6

載(zǎi)流子濃度(dù)：

107~1021cm-3

3-7

遷(qiān)移(yí)率：

10-2~107 cm2/volt*sec

3-8

輸入電流：

3-8-1

電流(liú)範圍：

1000 pA~10mA

3-8-2

電流(liú)分(fēn)辨(biàn)率(shuài)：

2.5 pA (lowest range)

3-8-3

電流精(jīng)度：

2%

3-9

輸(shū)入電(diàn)壓：

3-9-1

電(diàn)壓(yā)範圍(wéi)：

±10V

3-9-2

電壓分辨率：

1μV

4.

儀器(qì)特點(diǎn)：

4-1

Automatic or manual current selection

自(zì)動(dòng)或手(shǒu)動模(mó)式(電(diàn)流控製(zhì)磁(cí)場模(mó)式)

4-2

Automatic contact check

自(zì)動(dòng)接觸檢查(奧(ào)姆接(jiē)觸)

4-3

Routine and enhanced software

常規(guī)和增強軟件

4-4

Differential resistivity measurements by I/V-curves

I/V曲綫測試電阻(zǔ)率差(chà)異

4-5

Variable magnetic field

變磁場

4-6

Misalignment voltage compensation

失(shī)調電壓(yā)補償

4-7

Correction of slow sample drift voltage, especially for ZnO,

修正(zhèng)慢樣品漂移(yí)電(diàn)壓，特別(bié)是氧(yǎng)化(huà)鋅

4-8

Automatic field calibration

自動現場標(biāo)定(dìng)

4-9

Large concentration and resistivity range

大(dà)濃度和電阻率範圍

4-10

Flexible, modular hardware

靈活的(dí)模塊化(huà)硬件(jiàn)

4-11

Support of various magnets, for example BioRad HL 5200

支持多樣磁場

4-12

Support of various temperature controllers

支持各(gè)種(zhǒng)溫(wēn)度控(kòng)製(zhì)器(支(zhī)持客戶(hù)自行升級(jí)變(biàn)溫係(xì)統)

4-13

Van der Pauw and bar shape (bridge-type) Hall samples

支(zhī)持(chí)範德堡和霍(huò)爾巴法(fǎ)測試霍爾

5

硬件

5-1

The standard system consists of a bench top electronic system, a small magnet and a sample stage for room temperature and LN2 measurements.

標準係(xì)統包含電子測試(shì)係(xì)統，磁場(cháng)和兩個(gè)溫(wēn)度(dù)區域的測(cè)試(shì)平台（室溫和(hé)液氮溫度）

5-2

The electronics include the current source, the voltage measurement part, the contact switching module, the magnet power supply and the IEEE or RS232 interface. It is completely micro processor controlled.

電子(zǐ)測試(shì)係(xì)統包括(kuò)由單片機控(kòng)製(zhì)的(dí)電(diàn)流源，電壓測(cè)試，接觸(chù)開關模塊，磁場電源(yuán)，IEEE或RS232接口

5-3

The contact switching module is designed to allow all possible measurement configurations.

接觸開關模(mó)塊支持(chí)所有用(yòng)戶用(yòng)於其(qí)他的配置(zhì)(用(yòng)戶可(kě)以采(cǎi)用製冷(lěng)機做變溫(wēn)霍爾測試)

5-4

The current source has adjustable limits for voltage and/or power.

電流源(yuán)具有(yǒu)可調(tiáo)電(diàn)壓和/或電(diàn)源的(dí)限(xiàn)製(zhì)

5-5

Voltage measurement provides different input amplifiers optimized for either low current or low voltage applications.

電壓測量提供了(liǎo)不同(tóng)的輸入放(fàng)大器或低(dī)電流(liú)或低電壓應用的優化。

6

軟(ruǎn)件(jiàn)