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NL-QMS磁控濺射(shè)納(nà)米顆(kē)粒(lì)尺(chǐ)寸控(kòng)製(zhì)係統能夠實時監測納米顆粒(lì)的尺(chǐ)寸分布(bù)，通(tōng)過質量過(guò)濾(lǜ)器按質(zhì)量或(huò)直徑(jìng)實時掃(sǎo)描或(huò)過濾沉積(jī)的(dí)納米顆粒(lì)，從而促(cù)進生長條(tiáo)件的優(yōu)化(huà)。
Nikalyte NEXUS物(wù)理(lǐ)氣(qì)相(xiāng)沉(chén)積(jī)係統是(shì)一款(kuǎn)超多功(gōng)能的(dí)PVD（物(wù)理氣(qì)相(xiāng)沉積）係(xì)統(tǒng)，能夠(gòu)生成(chéng)納(nà)米(mǐ)顆粒和(hé)薄膜(mó)，非常適(shì)合(hé)工業(yè)和(hé)學術研究。NL-FLEX可以容納各(gè)種類型的(dí)基底(dǐ)，包括(kuò)卷(juàn)對卷，非平麵和粉末塗層(céng)。它適用於廣泛的應用(yòng)領(lǐng)域，包括催化(huà)，光(guāng)子(zǐ)學，能量存儲，傳(chuán)感器和生命科學。這(zhè)種模(mó)塊化(huà)的(dí)PVD沉積(jī)係(xì)統可(kě)以(yǐ)與(yǔ)分析(xī)工(gōng)具集成(chéng)，為(wéi)您提供(gōng)定製(zhì)化的研究解決方案。
Nikalyte NL-FLEX物(wù)理氣相(xiāng)沉(chén)積係統(tǒng)是一(yī)款(kuǎn)超多(duō)功(gōng)能的PVD（物(wù)理(lǐ)氣(qì)相沉積）係統，能夠(gòu)生成(chéng)納米顆(kē)粒和(hé)薄膜(mó)，非常適(shì)合(hé)工業(yè)和學(xué)術(shù)研(yán)究(jiū)。NL-FLEX可(kě)以(yǐ)容納各種類型(xíng)的基底，包括卷對(duì)卷，非平麵(miàn)和(hé)粉(fěn)末(mò)塗(tú)層(céng)。它適用於廣(guǎng)泛(fàn)的應(yīng)用領域，包括(kuò)催化(huà)，光子學(xué)，能(néng)量存(cún)儲，傳(chuán)感(gǎn)器(qì)和(hé)生命科學(xué)。這種(zhǒng)模塊化(huà)的(dí)PVD沉積係(xì)統可(kě)以(yǐ)與(yǔ)分(fēn)析工(gōng)具(jù)集成(chéng)，為(wéi)您(nín)提供定製(zhì)化(huà)的研究解(jiě)決(jué)方(fāng)案。
Nikalyte NL-Cube物理氣相沉(chén)積(jī)係(xì)統是一個緊(jǐn)湊且(qiě)靈(líng)活的PVD（物理氣(qì)相沉積(jī)）係統(tǒng)，具備薄(báo)膜，納(nà)米顆粒和合金(jīn)沉積(jī)能力。該(gāi)係統(tǒng)有(yǒu)兩種型號：375型（最多可(kě)容(róng)納(nà)五(wǔ)個(gè)源，基底(dǐ)直徑(jìng)可(kě)達四英寸）和300型（最多可(kě)容納(nà)四個源，基(jī)底直徑可(kě)達(dá)兩英寸(cùn)）。由(yóu)於其體積(jī)相(xiāng)對(duì)較(jiào)小，真空腔體的(dí)抽真(zhēn)空速度較(jiào)快，周轉(zhuǎn)時間約為(wéi)30分鐘(zhōng)。
EddyCus® map 2530RM電阻率測(cè)試儀在(zài)非接觸(chù)模(mó)式下(xià)自(zì)動測(cè)量(liáng)大(dà)型樣品(pǐn)的(dí)薄(báo)層電阻，最(zuì)大(dà)可達(dá)300×300平方(fāng)毫(háo)米（12×12英(yīng)寸）。在手動樣品定位(wèi)時，該設(shè)備會自動測量(liáng)並(bìng)顯示整個(gè)樣(yàng)品(pǐn)區域的薄(báo)層電阻的(dí)準確(què)映射。測(cè)量設置允許(xǔ)輕鬆靈(líng)活地(dì)在低於(yú) 1 分鐘的快速(sù)測量(liáng)時間(jiān)或超(chāo)過(guò) 10,000 個(gè)測量(liáng)點的(dí)高(gāo)空間測量分(fēn)辨(biàn)率(shuài)之(zhī)間進行選擇(zé)。
EddyCus map C2C全(quán)自(zì)動電阻(zǔ)率(shuài)成像係(xì)統(tǒng)用於(yú)晶(jīng)圓襯底(dǐ)或外延片的全(quán)麵積表(biǎo)征(zhēng)，以確(què)保(bǎo)半導(dǎo)體(tǐ)行業(yè)的工(gōng)藝可(kě)靠(kào)性(xìng)和質量保(bǎo)證。該係統配備了兩(liǎng)個在(zài)傳輸模式下(xià)工作的(dí)非(fēi)接(jiē)觸式渦流傳感(gǎn)器(qì)。這(zhè)允許非(fēi)常詳細地顯(xiǎn)示基(jī)底(dǐ)材料或(huò)導(dǎo)電塗層的均匀性。該係(xì)統能夠(gòu)測(cè)量薄(báo)膜的(dí)薄層電(diàn)阻(zǔ)或(huò)金(jīn)屬(shǔ)膜厚(hòu)度(dù)以及(jí)晶圓(yuán)襯(chèn)底(dǐ)的電阻率(shuài)。
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