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簡(jiǎn)要描述(shù):Nikalyte NL-UHV磁(cí)控(kòng)濺射(shè)儀(yí)能(néng)夠在(zài)超(chāo)真空中(zhōng)生(shēng)成和(hé)沉積(jī)納(nà)米顆粒,以在樣品上創建(jiàn)功能(néng)化(huà)表麵。 可以通(tōng)過精確控製(zhì)納米顆粒的尺(chǐ)寸,組成和(hé)結(jié)構來定製(zhì)納米(mǐ)顆(kē)粒(lì)塗層的特(tè)性(xìng),從(cóng)而實現定(dìng)製(zhì)化特性(xìng)。
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| 品牌(pái) | 其(qí)他品(pǐn)牌 | 產地(dì)類別(bié) | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源(yuán),電子/電(diàn)池,電氣(qì) |
NL-UHV能(néng)夠在超(chāo)真空(kōng)中生成(chéng)和沉(chén)積納米顆粒,以在樣品上創(chuàng)建功(gōng)能化(huà)表麵。 可以通過精(jīng)確(què)控製(zhì)納米顆(kē)粒(lì)的尺寸,組成和(hé)結構來定(dìng)製納(nà)米顆粒塗層的特性(xìng),從而實(shí)現定(dìng)製(zhì)化特(tè)性(xìng)。

NL-UHV儀器(qì)允許(xǔ)將超(chāo)純(chún)納米顆粒直接沉(chén)積(jī)在各種(zhǒng)基底和材(cái)料(liào)上。可以(yǐ)調整膜的密度(dù),並(bìng)且塗(tú)層(céng)能夠很(hěn)好地附著在(zài)樣品表麵。 NL-UHV有(yǒu)多種配置(zhì)可(kě)供(gōng)選(xuǎn)擇,包(bāo)括單(dān)個(gè)1英寸(cùn)和2英(yīng)寸(cùn)源,以及三(sān)重(zhòng)1英(yīng)寸源NL-DX3,後(hòu)者(zhě)允許單獨(dú)或作(zuò)為合金(jīn)沉積多(duō)達(dá)三(sān)種材料。 NL-QMS質量過濾(lǜ)器提供(gōng)了對納米(mǐ)顆粒沉積(jī)的高(gāo)級控製,允許實時按(àn)質(zhì)量(liáng)或直(zhí)徑掃(sǎo)描或過(guò)濾(lǜ)納米(mǐ)顆(kē)粒。 NL-QMS通過用戶友好的WindowsTM軟(ruǎn)件操作,為沉積過程(chéng)提供了直(zhí)觀的控製。
介紹超真(zhēn)空(kōng)-合金(jīn)納米顆(kē)粒沉(chén)積(jī) Nikalyte NL-UHV,合(hé)金納米顆粒(lì)沉(chén)積儀(yí)器係(xì)列(liè),能夠(gòu)在(zài)超真空(kōng)中將(jiāng)納米顆(kē)粒生(shēng)成並(bìng)沉積到您的樣品上(shàng),以(yǐ)創建功能化(huà)表麵(miàn)。通(tōng)過精確控製納(nà)米(mǐ)顆(kē)粒的尺寸,組成和(hé)結構,可(kě)以(yǐ)定製納米顆(kē)粒塗層(céng)的(dí)特(tè)性(xìng)。
與(yǔ)化學技術(shù)不同(tóng),NL-UHV係(xì)列(liè)儀器(qì)允(yǔn)許(xǔ)將超純(chún)納(nà)米(mǐ)顆粒直接沉(chén)積在(zài)各(gè)種基底(dǐ)和材(cái)料上。可以(yǐ)調整膜的密度,且膜本身可以(yǐ)高度附著在(zài)樣(yàng)品(pǐn)表(biǎo)麵(miàn)。
Nikalyte NL-UHV磁(cí)控(kòng)濺射儀(yí)主要(yào)特點:
可烘(hōng)烤至(zhì) 250°C(無需(xū)移除磁鐵(tiě))
高(gāo)達 40% 的出色(sè)靶(bǎ)材利用率(shuài)
用(yòng)於磁性材(cái)料(liào)的標(biāo)準(zhǔn)和(hé)高(gāo)強(qiáng)度磁(cí)體(tǐ)
平衡或不平衡磁體(tǐ)配(pèi)置的(dí)選(xuǎn)項(xiàng)
簡單的(dí)卡口夾,便於(yú)直(zhí)接(jiē)安(ān)裝目(mù)標
包(bāo)括手(shǒu)動或氣(qì)動控(kòng)製快(kuài)門之間(jiān)的(dí)選擇(zé)
可(kě)用的(dí)濺(jiàn)射靶尺寸(cùn):1 英(yīng)寸(cùn),2 英寸和 3 英寸
用戶(hù)友好的(dí)設計(jì),帶(dài)有易(yì)於(yú)更換的(dí)磁鐵
可定製(zhì)的真空(kōng)長(cháng)度
兼容 DC,RF,脈(mài)衝(chōng)直流(liú)(單極(jí)或(huò)雙極)和 HiPIMS 電(diàn)源(yuán)
Nikalyte NL-UHV磁控濺(jiàn)射儀(yí)規格
濺(jiàn)射源(yuán) | 1.0″ | 2.0″ | 3.0″ | |
安裝法蘭(lán) (CF (O.D.) | 4.5 英(yīng)寸(cùn) | 6.0 英(yīng)寸(cùn) | 6.0 英寸 | |
114 毫(háo)米(mǐ) | 152 毫米 | 152 毫米 | ||
NW63CF | NW100CF | NW100CF | ||
兼(jiān)容 UHV | 是(shì)的(dí),可在(zài)高(gāo)達(dá) 250°C 的溫(wēn)度下烘烤(kǎo)(無需(xū)移(yí)除磁鐵) | |||
真(zhēn)空長度(dù) | 200 毫米或(huò) 300 毫(háo)米(mǐ) – 可(kě)根(gēn)據要求(qiú)提供特殊長度(dù) | |||
源頭(tóu)的真空(kōng)直徑 | 45 毫米 | 72 毫米(mǐ) | 93 毫(háo)米(mǐ) | |
目標大小 | 1.0 英寸(cùn)(25 毫米(mǐ)) | 2.0 英寸(50 毫米(mǐ)) | 3.0 英(yīng)寸(75 毫米(mǐ)) | |
目標(biāo)物(wù)厚度(使(shǐ)用標準磁(cí)鐵(tiě)的(dí)非(fēi)磁(cí)性目標物) | 最大(dà) 3 毫米 | 最大 3 毫米(mǐ) | 最大(dà) 3 毫(háo)米(mǐ) | |
目標物(wù)厚(hòu)度(dù)(帶有強磁鐵(tiě)的(dí)非(fēi)磁性目標物(wù)) | 不適用 | 最(zuì)大 7 毫米 | 最(zuì)大 7 毫米 | |
目(mù)標物厚(hòu)度(帶(dài)有強(qiáng)磁鐵(tiě)的(dí)磁(cí)性(xìng)目(mù)標物) | 不(bù)可用 – | 最(zuì)大(dà) 1 毫(háo)米 | 最(zuì)大(dà) 2 毫米 | |
0.4mm,帶標準 | ||||
磁性元件 | ||||
磁(cí)鐵 | 對(duì)於磁性或非磁性(xìng)材料,平(píng)衡或不(bù)平(píng)衡,用戶可(kě)以輕(qīng)鬆 | |||
更換(huàn) | ||||
電(diàn)源 | 直流,射(shè)頻,脈衝(chōng)直流(單(dān)極(jí)或雙極),HiPIMS | |||
快門 | 一體式(shì)手(shǒu)動或可(kě)選(xuǎn)氣(qì)動操作(zuò) | |||
冷(lěng)卻(què) | 最(zuì)小水流(liú)量為(wéi) 1 I/min | |||
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