Nanosystem NVF-2700 非接(jiē)觸式(shì)3D輪廓儀通過的技術力對多樣(yàng)研究(jiū)所有(yǒu)的(dí)表麵(miàn)提供優(yōu)化解決(jué)方(fāng)案(àn)。所(suǒ)有的(dí)功能實(shí)現(xiàn)全自動快速運轉(zhuǎn)。

NVF-2700可以快測(cè)量(liáng)所(suǒ)有表(biǎo)麵的測(cè)量(liáng)儀，利(lì)用持有的(dí)白(bái)光幹(gān)涉儀WSI和(hé)相(xiāng)應(yīng)算法開(kāi)發的產品。X，Y，Z軸全部(bù)設計為全自(zì)動，通(tōng)過(guò)可(kě)調節(jié)F.O.V鏡頭，自(zì)動(dòng)構成多樣的(dí)倍率。此產品(pǐn)專為研究(jiū)所，大學(xué)和工藝管理而(ér)製作(zuò)的產品(pǐn)。此設(shè)備可(kě)以(yǐ)通過拼(pīn)接（Stitching）功(gōng)能(néng)可以(yǐ)進(jìn)行大(dà)麵積(jī)（500㎟）測量。

得(dé)到的WSI/PSI技術(shù)，隻(zhī)需要表(biǎo)麵(miàn)有1%的(dí)反(fǎn)射(shè)率(shuài)即(jí)可測量(liáng)，表麵現(xiàn)象中(zhōng)的(dí)高(gāo)度，寬(kuān)度，幅(fú)度(dù)，粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各種項目均可測量(liáng)。

此(cǐ)外，WSI的高度分辨(biàn)率(shuài)為0.1nm，2秒鐘(zhōng)時間(jiān)即可掃(sǎo)描所有的表麵，在(zài)不破(pò)壞樣品的情(qíng)況(kuàng)下(xià),可測定(dìng)0.1nm到1000um的樣(yàng)品(pǐn)，均(jūn)可(kě)觀察2D/3D的(dí)現(xiàn)象。不僅(jǐn)如此，更是(shì)保障了0.1%(1σ)世界水(shuǐ)準(zhǔn)的(dí)重復(fù)性(xìng)，本(běn)公(gōng)司保有的(dí)技術(shù)可(kě)應用於(yú) PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方麵(miàn)。

Nanosystem NVF-2700 非接觸(chù)式3D輪廓(kuò)儀的優點

·       優良的(dí)測(cè)量精度(dù)

·       抗(kàng)振動設計(jì)

·       快速測(cè)量(liáng)速(sù)度(dù)

·       友(yǒu)好的測量界(jiè)麵

·       Stitching功能

·       2D和3D多功(gōng)能性能

主(zhǔ)要功(gōng)能(néng)

·       3D 形(xíng)貌(mào)測量

·       粗糙度 (ISO 25178) 和平(píng)整(zhěng)度 (選項)

·       高度(dù)，深(shēn)度(dù)，寬度(dù)(從(cóng)亞納米到(dào)10mm)·

·       麵(miàn)積信(xìn)息(體積，麵積)

·       2D和3D 測量(liáng)

特點

Fast ,Reliable, Fine = Reducing R & D Time

納(nà)米(mǐ)級的幾(jī)何(hé)光(guāng)學測(cè)量(liáng)

粗(cū)糙(cāo)度，段差，細微(wēi)形貌，薄(báo)膜表(biǎo)麵

Full range scan隻需(xū)要兩(liǎng)秒(miǎo)! 掃(sǎo)描速度Max. 116μm/S

兩步A/F簡單準(zhǔn)備的(dí)全自(zì)動聚(jù)焦

ISO Roughness參數（ISO25178/12781/4287等(děng)）

可一次(cì)性分(fēn)析透明薄膜厚(hòu)度及內部形貌（選(xuǎn)購）

產(chǎn)品規格：

測量方法(fǎ)：白(bái)光掃描幹涉(shè)法/相(xiāng)移幹(gān)涉法

FOV鏡頭：4位電(diàn)動轉塔(tǎ)，可加裝(zhuāng)F.O.V（選項）

幹(gān)涉(shè)物(wù)鏡：5物鏡可(kě)選(xuǎn)(程(chéng)控）

光(guāng)源(yuán)：白(bái)光LED照明

掃描範圍：≤270um（PZT）

掃描(miáo)速(sù)度：12μm/sec (1x~5x用戶可(kě)選(xuǎn))

垂(chuí)直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

橫(héng)向(xiàng)分(fēn)辨率：0.2-4μm（取決於物鏡(jìng)和FOV）

台階高度(dù)重(zhòng)復性(xìng)：0.1％@1σ (標準8um台(tái)階(jiē)樣品)

傾(qīng)斜度：±6°

XY行程(chéng)：100mmX100mm

工(gōng)作台尺(chǐ)寸： 230X230mm（程(chéng)控）

選項(xiàng)

FOV鏡頭： 0.5X，0.75X，1X，1.5X，2X(可選)

幹(gān)涉(shè)物鏡(jìng)：2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可選(xuǎn))

掃描範圍(wéi)：多(duō)達(dá)可達(dá)10mm（電機(jī)掃(sǎo)描選項(xiàng)）