Nanosystem NV-2700 非接觸式(shì)3D輪(lún)廓儀通(tōng)過的(dí)技(jì)術(shù)力(lì)對多樣研究所有(yǒu)的(dí)表麵提(tí)供(gōng)優(yōu)化解決方(fāng)案。所有的功(gōng)能實現(xiàn)全自動(dòng)快速運轉(zhuǎn)。

NV-2700可以(yǐ)快測(cè)量所有表(biǎo)麵的(dí)測量(liáng)儀(yí)，利(lì)用持(chí)有(yǒu)的白(bái)光幹(gān)涉儀WSI和(hé)相應算法(fǎ)開(kāi)發(fā)的產品(pǐn)。X，Y，Z軸全部(bù)設(shè)計為全自動，通過可(kě)調(tiáo)節F.O.V鏡頭(tóu)，自動構成多(duō)樣的倍率(shuài)。此(cǐ)產品專為研(yán)究(jiū)所(suǒ)，大學(xué)和工藝(yì)管理而(ér)製(zhì)作(zuò)的產品。此設備可以通過(guò)拼(pīn)接（Stitching）功能可以進行(háng)大麵積(jī)（500㎟）測(cè)量。

得到的WSI/PSI技(jì)術，隻需要表麵有1%的(dí)反(fǎn)射率(shuài)即可測量(liáng)，表(biǎo)麵現象中的高度，寬(kuān)度，幅(fú)度(dù)，粗糙度(dù)(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等(děng)各(gè)種項目(mù)均(jūn)可(kě)測(cè)量(liáng)。

此(cǐ)外(wài)，WSI的(dí)高度分辨率為(wéi)0.1nm，2秒鐘時(shí)間即可(kě)掃描(miáo)所(suǒ)有(yǒu)的(dí)表麵，在不破壞(huài)樣(yàng)品(pǐn)的情況(kuàng)下,可測定0.1nm到(dào)1000um的(dí)樣(yàng)品(pǐn)，均(jūn)可觀(guān)察(chá)2D/3D的現(xiàn)象。不(bù)僅如此，更(gēng)是保(bǎo)障了0.1%(1σ)世(shì)界水(shuǐ)準的(dí)重復(fù)性，本(běn)公(gōng)司(sī)保(bǎo)有(yǒu)的技術可應用於 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方麵。

Nanosystem NV-2700 非接觸式(shì)3D輪(lún)廓(kuò)儀​優點

·       優良的測量精度

·       抗振動(dòng)設(shè)計(jì)

·       快(kuài)速測量(liáng)速(sù)度(dù)

·       友(yǒu)好(hǎo)的測量界(jiè)麵(miàn)

·       Stitching功能(néng)

·       2D和(hé)3D多功能(néng)性能(néng)

主要功(gōng)能(néng)

·       3D 形貌測量(liáng)

·       粗(cū)糙(cāo)度 (ISO 25178) 和平(píng)整(zhěng)度(dù) (選(xuǎn)項(xiàng))

·       高度(dù)，深(shēn)度，寬度(dù)(從(cóng)亞(yà)納(nà)米到(dào)10mm)·

·       麵積信息(體(tǐ)積，麵積)

·       2D和3D 測量(liáng)

產(chǎn)品(pǐn)規格(gé)：

測(cè)量(liáng)方法(fǎ)：白光(guāng)掃描幹(gān)涉法/相移幹涉法

FOV鏡頭(tóu)：4位電(diàn)動轉塔，可加(jiā)裝F.O.V（選(xuǎn)項(xiàng)）

幹涉物鏡：5物(wù)鏡(jìng)可(kě)選(xuǎn)(程控）

光源：白光LED照明

掃描範圍：≤270um（PZT）

掃描速(sù)度：12μm/sec (1x~5x用(yòng)戶可選(xuǎn))

垂直(zhí)分(fēn)辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

橫向分(fēn)辨(biàn)率：0.2-4μm（取決於(yú)物鏡和FOV）

台(tái)階(jiē)高(gāo)度重復性(xìng)：0.1％@1σ (標準(zhǔn)8um台階樣品)

傾(qīng)斜(xié)度：±6°

XY行(háng)程(chéng)：100mmX100mm

工(gōng)作(zuò)台尺寸： 230X230mm（程控(kòng)）

選項

FOV鏡(jìng)頭(tóu)： 0.5X，0.75X，1X，1.5X，2X(可選(xuǎn))

幹涉物鏡：2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可選)

掃(sǎo)描(miáo)範圍(wéi)：多達(dá)可(kě)達10mm（電(diàn)機掃(sǎo)描(miáo)選項）