在(zài)集(jí)成電(diàn)路黃光(guāng)製程中，晶體基片黑化後的(dí)顏(yán)色(sè)判別(bié)是影(yǐng)響(xiǎng)光刻(kè)膠(jiāo)曝(pù)光精度的關鍵環節(jié)。傳(chuán)統(tǒng)方法依(yī)賴人工目(mù)視(shì)評判(pàn)基片(piàn)黑化程(chéng)度(dù)和(hé)均匀(yún)性，易受(shòu)環境光照差(chà)異
，人眼疲(pí)勞及(jí)主觀判斷偏差等因(yīn)素(sù)幹(gān)擾，導致(zhì)評估一致(zhì)性差
，良品(pǐn)率波(bō)動顯(xiǎn)著（通常(cháng)損失5%-10%）。尤其(qí)在濾(lǜ)波芯片(piàn)製造中，納(nà)米(mǐ)級綫寬要(yào)求基(jī)片反射率誤(wù)差需(xū)控製(zhì)在(zài)±0.5%以內(nèi)，目視檢測難(nán)以滿(mǎn)足(zú)精度(dù)需求。

NeoColor 90晶體基(jī)片黑化(huà)色(sè)度分析(xī)儀(yí)采(cǎi)用(yòng)全波段(duàn)光(guāng)譜(pǔ)捕捉（360-780nm），反(fǎn)射分辨率(shuài)達0.01%，重復(fù)測量精(jīng)度達(dá)到ΔE*ab≤0.02，確(què)保(bǎo)黑化層(céng)色(sè)度的(dí)測(cè)量(liáng)和品(pǐn)控符(fú)合工藝標(biāo)準。

符(fú)合(hé)標準(zhǔn)

符合(hé)標(biāo)準(zhǔn)CIE No.-15， GB/T 30118-2013，GB/T 3978，GB 2893，GB/T 18833，ISO7724-1，ASTM E1164，DIN5033 Teil7

測量(liáng)參數

光(guāng)譜反(fǎn)射率,CIE-Lab, CIE-LCh, HunterLab, CIE-Luv, XYZ, Yxy, RGB

色差(chà)值(zhí)

ΔE*ab,ΔE*cmc,ΔE*94,ΔE*00

工(gōng)業指(zhǐ)標(biāo)

黑度（My,dM）

黃度(dù)(ASTM D1925,ASTM E313-00,ASTM E313-73)

Tint(ASTM E313-00)

色密度CMYK(A,T,E,M)

同(tóng)色(sè)異譜指(zhǐ)數(shù)MI

遮蓋(gài)力(lì)

力(lì)份(染(rǎn)料(liào)強度,著色(sè)力)

NeoColor 90晶體基(jī)片黑(hēi)化色度分析儀技(jì)術規格

測量(liáng)結構(gòu)：D/8，SCI+SCE

積分球直徑(jìng)：40mm

分光方(fāng)式(shì)：光(guāng)柵(zhà)

感應器(qì)：雙(shuāng)陣列(liè)高(gāo)精度(dù)CMOS傳(chuán)感器

照明光(guāng)源：LED(全波段(duàn)均(jūn)衡LED光(guāng)源)+UV

波(bō)長間隔：10nm

波長範(fàn)圍：400-700nm

反(fǎn)射率測定範圍：0-200%

反射率分辨率：0.01%

測(cè)量重(zhòng)復性/穩定性(xìng)：

色(sè)度(dù)值(zhí): 標準偏差值(zhí)dE*ab≤ 0.02(白板校準後以5秒間隔(gé)測(cè)量(liáng)白板(bǎn)30次(cì))
光(guāng)譜反射(shè)率(shuài)： 標(biāo)準(zhǔn)偏差小(xiǎo)於(yú)0.08%

台間差：ΔE*ab≤0.20（BCRA係(xì)列Ⅱ 12塊(kuài)色(sè)板測量平均值）

顯(xiǎn)示精度：0.01

測量時間(jiān)：小(xiǎo)於(yú)2秒(miǎo)

視角：2°，10°

測(cè)量(liáng)/照明口(kǒu)徑：MAV:Φ8mm/Φ11mm；SAV:Φ4mm/Φ6mm；MINI:1*3mm

攝像頭取景(jǐng)定位：有(yǒu)

校準(zhǔn)：智(zhì)能自(zì)動(dòng)校準

接(jiē)口(kǒu)：USB，藍牙(yá)

屏幕(mù)：IPS全彩(cǎi)屏(píng)幕(mù)3.5英寸

存儲(chǔ)：儀(yí)器(qì)100條(tiáo)標(biāo)準(zhǔn)，10000條(tiáo)批次(cì)樣存(cún)儲(chǔ)。

光(guāng)源(yuán)壽命(mìng)：10年100萬次(cì)

電池容量(liáng)：單(dān)次(cì)充(chōng)電可連(lián)續(xù)測量8000次(cì)，3.7V/3000mAh

語(yǔ)言(yán)：簡(jiǎn)體(tǐ)中(zhōng)文(wén)，英(yīng)語

軟件支持：Windows