NanoSystem NV-1800 3D輪廓(kuò)儀(yí)是一種(zhǒng)手動的非接觸式三(sān)維(wéi)輪廓儀，適(shì)用(yòng)於任(rèn)何表(biǎo)麵。其設(shè)計簡單，忠(zhōng)實於(yú)基本功能(néng)。Nanosystem利(lì)用(yòng)自己的patented算法(fǎ)和(hé)白(bái)光幹涉(shè)技術(shù)創(chuàng)造H/W和(hé)S/W。Patented的(dí)WSI/PSI技術測量各種(zhǒng)表(biǎo)麵(miàn)材料和參(cān)數，包括(kuò)表麵紋(wén)理，形狀，台階(jiē)高度(dù)和更高(gāo)(0.1nm-垂直和(hé)0.2 um-橫向分(fēn)辨率)的二維和三(sān)維剖麵(miàn)。

白光掃(sǎo)描(miáo)幹涉(shè)技術(shù)(WSI)是(shì)一種(zhǒng)測(cè)量(liáng)高(gāo)分(fēn)辨率(shuài)(0.1nm)，高(gāo)速(sù)測(cè)量表(biǎo)麵(miàn)積，高度(dù)和體積的技術(shù)。在(zài)不破壞任(rèn)何(hé)破壞(huài)的情況下(xià)，納(nà)米係(xì)統(tǒng)的(dí)WSI技(jì)術(shù)(白光掃(sǎo)描幹涉(shè)法(fǎ))能(néng)在幾秒(miǎo)鐘內(nèi)從(cóng)0.1nm到10000μm範圍內(nèi)測(cè)量(liáng)樣(yàng)品，並(bìng)提供真實的樣(yàng)品三(sān)維形狀。此外(wài)，重復性小(xiǎo)於(yú)0.1%(1σ)，無論放(fàng)大(dà)，z軸分辨(biàn)率為0.1nm。基於納(nà)米(mǐ)係(xì)統技術(shù)的精(jīng)度(dù)(高精度，重復性和重(zhòng)復(fù)性(xìng))，該產品可廣泛應用(yòng)於半導體，印刷電路板(bǎn)，顯(xiǎn)示，工(gōng)程(chéng)部件，化工材(cái)料(liào)，光學部件，生(shēng)物，R&D等領域。

NanoSystem NV-1800 3D輪(lún)廓(kuò)儀提供高分(fēn)辨(biàn)率(0.1nm)，10萬倍放(fàng)大率(shuài)(10 Mm)和高清晰度圖像，在0.1nm至10000 μm範圍(wéi)內(nèi)，在(zài)2秒內(nèi)測(cè)量(liáng)樣(yàng)品(pǐn)，提供真實的2D/3D樣品(pǐn)形貌，無需準備(隻(zhī)需將(jiāng)樣(yàng)品直接(jiē)放在樣品台上(shàng))，測量任意(yì)尺寸和幾乎任何(hé)材料的(dí)樣(yàng)品(pǐn)(反射(shè)率為1%)。

NV-1800的優(yōu)點(diǎn)

·       優良(liáng)的(dí)測量(liáng)精度

·       無(wú)需振動台(tái)麵

·       抗振動(dòng)的緊湊(còu)設計

·       快(kuài)速測(cè)量(liáng)速度(dù)

·       友好的(dí)測(cè)量界麵(miàn)

·       全(quán)手(shǒu)動(dòng)操(cāo)作

·       2D和(hé)3D多(duō)功(gōng)能(néng)性(xìng)能

主(zhǔ)要(yào)功(gōng)能

·       3D 形(xíng)貌(mào)測(cè)量(liáng)- 粗糙(cāo)度(dù) (ISO 25178) 和平整度 (選(xuǎn)項)

·       高度，深度(dù)，寬度(從亞納(nà)米(mǐ)到10)·

·       麵積信息(xī)(體(tǐ)積，麵積)-2D, 3D Measurement

產品(pǐn)規格：

·       幹涉(shè)物(wù)鏡：單(dān)透(tòu)鏡可選

·       掃描範圍：0-180um（270um可選）

·       垂(chuí)直分辨率(shuài)：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

·       傾(qīng)斜台：±3°

·       Z軸(zhóu)行程：30mm（手動）

·       工作(zuò)台(tái)麵：50X50mm（手(shǒu)動(dòng)）

應(yīng)用領(lǐng)域：

Nano View係列(liè)為LCD（液晶顯示器(qì)），IC Package（芯片封裝(zhuāng)），Substrate（基(jī)板(bǎn)），Build-up PCB（積(jī)層板），MEMS（微(wēi)機電係(xì)統(tǒng)），Engineering Surfaces（工(gōng)程表(biǎo)麵(miàn)）等等領域(yù)提供(gōng)納(nà)米(mǐ)級別精度(dù)的量測。